CMM ನ ತ್ರಿಕೋನ ಕಿರಣ ರಚನೆ ವಿನ್ಯಾಸವು ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಹೇಗೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ?

CMM ತನ್ನ ಕಿರಣವಾಗಿ ತ್ರಿಕೋನ ಕಿರಣದ ರಚನೆಯನ್ನು ಬಳಸಿದರೆ, ಅದು ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಈ ಕೆಳಗಿನ ಪ್ರತಿಕೂಲ ಪರಿಣಾಮಗಳನ್ನು ಬೀರಬಹುದು:

1, ಉಷ್ಣ ವಿರೂಪ: ತ್ರಿಕೋನ ಕಿರಣದ ರಚನೆಯು ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾದಾಗ ಉಷ್ಣ ವಿರೂಪವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು, ಏಕೆಂದರೆ ವಿಭಿನ್ನ ವಸ್ತುಗಳು ಅಥವಾ ವಿಭಿನ್ನ ಭಾಗಗಳ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕವು ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿರಬಹುದು. ಈ ವಿರೂಪತೆಯು ಜ್ಯಾಮಿತೀಯ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಅಳತೆ ಯಂತ್ರ, ಮಾಪನ ದೋಷಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.

2, ಕಂಪನ ಮತ್ತು ಅನುರಣನ: ತ್ರಿಕೋನ ಕಿರಣದ ರಚನೆಯು ಡೈನಾಮಿಕ್ ಲೋಡ್ ಅಥವಾ ಕಂಪನಕ್ಕೆ ಒಳಗಾದಾಗ ಅನುರಣನಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚು ಒಳಗಾಗಬಹುದು, ಇದು ಮಾಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಂತರ ಮಾಪನ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

3, ಬಾಗುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಅಸ್ಪಷ್ಟತೆ: ಕಿರಣದ ಜ್ಯಾಮಿತಿಯಿಂದಾಗಿ, ತ್ರಿಕೋನ ಕಿರಣವು ಹೊರೆಗೆ ಒಳಗಾದಾಗ ಬಾಗುವಿಕೆ ಅಥವಾ ವಿರೂಪಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚು ಒಳಗಾಗಬಹುದು, ಇದು ಅಳತೆ ತೋಳಿನ ಚಲನೆಯ ಮಾರ್ಗವು ಆದರ್ಶ ಸ್ಥಿತಿಯಿಂದ ವಿಪಥಗೊಳ್ಳಲು ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಮಾಪನ ಫಲಿತಾಂಶಗಳ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

4, ರೇಖಾತ್ಮಕವಲ್ಲದ ದೋಷ: ತ್ರಿಕೋನ ಕಿರಣದ ರಚನೆಯ ರೇಖಾತ್ಮಕವಲ್ಲದ ವಿರೂಪತೆಯು ಮಾಪನ ದೋಷಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಕಿರಣದ ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ. ಈ ದೋಷವು ಹೊರೆಯೊಂದಿಗೆ ಬದಲಾಗಬಹುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಮಾಪನ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ಊಹಿಸಲು ಮತ್ತು ಸರಿದೂಗಿಸಲು ಕಷ್ಟವಾಗುತ್ತದೆ.

5, ಪುನರಾವರ್ತಿತ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆ: ತ್ರಿಕೋನ ಕಿರಣದ ರಚನೆಯ ಬಿಗಿತ ಸಾಕಷ್ಟಿಲ್ಲದಿದ್ದರೆ, ಅದು ಪುನರಾವರ್ತಿತ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆಯಲ್ಲಿ ಇಳಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಇದರರ್ಥ ನೀವು ಒಂದೇ ಸ್ಥಳವನ್ನು ಹಲವು ಬಾರಿ ಅಳತೆ ಮಾಡಿದಾಗ, ನೀವು ಸ್ವಲ್ಪ ವಿಭಿನ್ನ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು.

6, ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಸ್ಥಿರತೆ: ತ್ರಿಕೋನ ಕಿರಣದ ರಚನೆಯು ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಬಳಕೆಯ ನಂತರ ಆಯಾಸ ಅಥವಾ ತೆವಳುವಿಕೆ ಕಾಣಿಸಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು, ಇದು ಅದರ ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಅಳತೆಯ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

7, ಪರಿಸರ ಅಂಶಗಳು: ತ್ರಿಕೋನ ಕಿರಣದ ರಚನೆಯು ಪರಿಸರ ಅಂಶಗಳಿಗೆ (ಆರ್ದ್ರತೆ, ಗಾಳಿಯ ಒತ್ತಡದ ಬದಲಾವಣೆಗಳಂತಹವು) ಹೆಚ್ಚು ಸಂವೇದನಾಶೀಲವಾಗಿರಬಹುದು, ಇದು ಕಿರಣದ ಗಾತ್ರ ಮತ್ತು ಆಕಾರದ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು, ಇದು ಅಳತೆಯ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

ಎಲ್ಲಾ ಸರಣಿಗಳು ಸಿಎಂಎಂಡಿಪ್ಸೆಕ್ ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ಯಂತ್ರಗಳು ಆಯತಾಕಾರದ ಕಿರಣಗಳಿಂದ ಕೂಡಿದ್ದು, ಮೇಲಿನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ದೋಷಗಳನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಬಹುದು. ನಮ್ಮ ಸಿಎಂಎಂ ಯಂತ್ರ 0.7um ನಿಂದ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ನಿಖರತೆಯೊಂದಿಗೆ.

ಯಾವುದೇ ಪ್ರಶ್ನೆಗಳು ಅಥವಾ ಸಲಹೆಗಳಿದ್ದರೆ ದಯವಿಟ್ಟು ನಮ್ಮನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸಿ overseas0711@vip.163.com